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真空开关具有快速良好的开断性能，在开断感性负载时，回路电流的急骤变化会在电感两端产生很高的过电压，特别是在开断小电感电流时，尤其容易发生截流过电压及电弧重燃过电压。 对变压器而言，不同结构的变压器有所区别。油浸变压器不仅耐冲击电压值较高，而且杂散电容也大，不需要专门加装保护，对于耐冲击电压值不高的干式变压器，最好加装保护，例如安装氧化锌避雷器，或采用电缆的分布电容及装设电容等措施。
对出线保护用真空开关，由于线路较长，杂散电容也较大，加上有多种设备连接在线路上，是不会产生很高的载流过电压的，使用中一般不需采取特别的保护措施。
对电容器组，现场试验证明真空开关关合产生过电压一般不超过两倍。在我国，并联电容器一般用于60kV以下,这些电压等级设备绝缘水平较高，关合电容器组的过电压一般不会给设备造成危害。但是性能不好的真空开关，开合时触点振动持续时间过长，可引起高的过电压。
由于截流值越大，电感越大，电容越小，过电压就越高，而截流值的大小还与触头材料有关，因此常用的防护措施有：
1、降低截流值，从根本上降低截流过电压。适当加大触头开距，以抑制电弧重燃过电压。
2、装设R——C吸收器。若电阻及电容参数选择合适，既可降低过电压幅值，又可减缓过电压的上升陡度。一般每相电容值取0.1～0.2μF，电阻值耳100～200Ω，功率不小于20W。
3、设置R——L保护器。将电阻R与铁心电感L并联后串接于开关与电缆之间。正常时铁心饱和电感值较小，压降及损耗都很低，不影响负载的工作。当发生电弧重燃振荡时，高频电流使铁心电抗增大，抑制过电压，电阻则起阻尼及限流作用。
4、采用氧化锌避雷器MOA。MOA实际上是一个非线性压敏电阻，在工作电压下呈极大电阻，漏电流为微安级，不影响电网运行。过电压时，其阻值剧降并呈稳压特性，一般可将过电压限制在2倍相电压以下，且阀片间有一定电容量，对残压的突变有抑制作用。
5、在开断小容量电动机时起动电流较大，应采取降低起动电流的措施。
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