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真空灭弧室的故障类型有很多，漏气就是常见的一种，而漏气故障可以分为硬故障和软故障两种。前者通常是真空灭弧室的外亮破裂、波纹管破损而进气，使灭弧室失去真空度，与周围大气相通，而软故障指的是灭弧室并未与大气相通，而是由于制造工艺、运输、安装及使用维护等原因，使灭弧室内的气体压力高于允许值，灭弧室不能满足正常开断容量，存在潜伏性故障。
传统的检测方法一工频耐压法，对真空灭弧室的“硬故障”比较有效，能定性的区分真空灭弧室的好坏;但对“软故障”就无能为力。因为当真空度在1×104Pa～1×10-3Pa之间时，工频耐压试验都能通过，不能分辨出其中的差别。
真空度测试仪可以对1×10-lpa～1×10-5pa范围内的真空度进行准确测量，掌握灭弧室真空度的变化情况，了解真空灭弧室的泄漏发展情况，使得对真空灭弧室的检测从定性上升到定量阶段，并且可以根据一定间隔时期内真空度的变化情况，推算出真空灭弧室的使用寿命。这对保障真空断路器运行的可靠性提供了一种技术手段。
例如某变电站同一批10KV真空断路器，绝大多数真空灭弧室真空度压力低于6.60×10-4pa，但有一只真空度压力为3.12×10-3pa，虽然也在合格范围内，工频耐压试验也通过，但与同类灭弧室相比较，其真空度差一些，对这类型真空灭弧室应作重点监测，掌握其真空度的变换趋势。
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